干 

 法

 刻

 蝕

ICP刻蝕深刻Si、AlN
Si,PI
GaN,GaAs、SiNx、SiO2
RIE刻蝕Si、Si3N4、SiO2 、PI
GaN、ZnO、SiC、金屬
IBE刻蝕(Al、Cu、Cr、Ni、Au……
干法去膠/打底膜


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