RIE-501全自動反應離子刻蝕機

詳細描述

本產品通過物理與化學相結合的方法,對很細的線條(亞微米以下)進行刻蝕以形成精細的圖形。

本設備具有選擇比較好、刻蝕速度較快、重復性好、性價比較高等特點。可刻蝕的材料主要有Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等。

本產品通過對真空系統、工作壓強、射頻電源匹配、氣體流量及工藝過程的全自動控制,使工藝的重復性、穩定性、可靠性得到有效保證,從而獲得較高的刻蝕速率,并能精確地控制圖形的剖面。

本設備的數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發和生產平臺。

本產品通過軟、硬件相互配合的互鎖、智能監控、在線狀態記憶、斷點保護等設計,結合各種硬保護裝置、使設備的安全性、可靠性得到有效保證。

本產品主要用于微電子、光電子、通訊、微機械等領域的器件研發和制造。


產品主要性能指標


型號

RIE-501

真空系統

分子泵機組

刻蝕室數量

單室

刻蝕室規格

?300×100mm

電極尺寸

?200mm

刻蝕材料

Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等。

刻蝕速率

0.1 – 1 μ/min (與刻蝕材料和工藝有關)

刻蝕不均勻性

≤±5%

自動化程度

真空系統、下游壓力閉環控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。

人機界面

Windows環境、觸摸屏操作

操作方式

全自動方式、非全自動方式

自動化裝置的選配

可選擇進口件或國產件


本產品是“標準型反應離子刻蝕機(RIE)”的全自動產品。


全部評論()

本網站由阿里云提供云計算及安全服務
pc蛋蛋200赢到2万 可转债卷买了能赚钱吗 众包包赚钱 中国足球直播 水果店和花店哪个赚钱 湖南丫丫麻将房卡 科学家如何赚钱 手机即时比分网 雨湖区农村干什么赚钱 口红贴膜能不能赚钱 河南十一选五 女生做什么副业赚钱 下载琼崖海南麻将 多乐彩 马化腾微信是怎么赚钱 街机麻将玩法 海南飞鱼